产品简介：
本设备主要用于太阳能电池生产线上硅片扩散后去磷硅玻璃的清洗处理。是一条集清洗、腐蚀、干燥为一体的全自动综合清洗工艺线。全封闭结构，依次进行HF腐蚀+氮气鼓泡、QDR+氮气鼓泡+喷淋、 下料、离心机甩干；设备采用单臂机械手，其工艺时间可以自行调节。能显示温度曲线、浓度变化曲线，及各个工位的工作状态。酸槽具有自动补液装置，可实现无间断生产。具有报警说明，报警历史查询功能。对清洗用纯水有电阻率监测装置，能存储多个工艺方案。适合生产：125mm×125mm、156mm×156mm、210mm×210mm的硅片，厚度为160±30——200±30微米的硅片。
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